光氧等離子凈化一體機，等離子體中的離子、電子、激發太原子、分子及自由基都是極活潑的反應性物種，使通常條件下難以進行或速度很慢的反應變得快速，它們再進一步與污染物分子、離子反應，從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。

另外 ，由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發粒子向下躍遷能產生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，就會激發半導體內的電子，使電子從價帶躍遷至導帶，形成具有很強活性的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。

光生空穴具有很強的獲得電子能力，可與催化劑表面吸附的O2和H2O發生反應生成羥基自由基，從而進一步氧化污染物。由于等離子體放電光催化過程有大量高能電子沖擊、活性粒子、紫外線輻射等綜合因素的協同作用，因而可以更快速有效地分解空氣中有害物質和滅菌除臭。

近年來興起的半導體光催化技術由于其能耗低,氧化性能強,已有大量研究。但該技術仍存在一些缺陷,如:反應受紫外光源限制;能量產率低;較難處理高濃度、大風量的氣體等。對于這些問題的解決,研究者通過各種技術手段對光催化劑進行改性,進而提高光催化性能[2]。另一方面通過和各種外加場(超聲波、電化學、等離子體等)進行耦合聯用形成新型的高效光催化反應技術,取得了顯著效果。尤其是低溫等離子體在環境污染物處理方面的應用研究引起了人們的極大關注,被認為是環境污染物處理領域中最有廣適性、最有發展前途的高新技術之一。目前,低溫等離子體技術已經成功應用于煙氣脫硫、脫氮、溫室氣體處理和VOCs的降解[6]。而低溫等離子體和光催化的結合不但解決了光催化技術的一些難點,并且還使低溫等離子體技術得到了優化。其操作條件更加溫和,能耗進一步降低,過程中的副產物也得到了抑制。本文作者將介紹這一新技術處理污染物的基本原理,并從去除VOCs、NOx以及殺菌等方面介紹國內外對該技術的研究進展。

與目前國內常用的異味氣體治理方法（活性炭吸附、液體吸收、燃燒法及生物法等）相比較，低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術具有如下特點：

1、高科技創新產品：“低溫等離子體”技術是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是一全新的技術創新領域。是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、 裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。

2、高效廢氣凈化：本設備能高效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率可達98%以上，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有強力