衍射光學器件 DOEDiffractive beam shapers 光束整形器

Jenoptik 可提供各種高性能整形器，包括圓形方形和線型平頂以及客戶所需的任意復雜分布。這些光束整形器為單模（TEM00）輸入光束設計。我們同時也提供適用于多模激光的散射器件和光束均化器。產品覆蓋深紫外（DUV）到長波紅外（LWIR）的波長范圍。

產品優勢：

• DUV 193納米到  IR 波段
• 線寬<20 um
• 衍射效率>90%
• 均勻性<5%
• 任意光束形狀整形

應用：

• 激光加工                       
• PCB
• 光學傳感
• 太陽能電池
• 鋰電池
• 光刻和全息
• 半導體
• OLED

案列：OLED面板激光剝離

方形整形器可以在OLED面板激光剝離應用中實現光斑均勻化并提高加工效果。

Diffractive Beam Splitter 光束分束器

Jenoptik 衍射分束器可有效地將入射激光分成多束分離的光束，輸出光束的角間距，強度比以及分布的對稱性可以按客戶需要設計，輸出光束可保持入射光束的發散角、直徑和偏振態不變。

產品優勢：

• 任意數目分束
• 任意對稱圖案
• 極高的激光損傷閾值
• 衍射效率>90%
• 可實現離軸設計，雜散光<0.2%

應用：

• 光學傳感器
• 材料加工（半導體，太陽能）
• 激光雷達

應用案例：

1.     分束器可使輸入激光在多重通道獲得更好的能量分布，從而提高了效率和性能，這使得我們的高精度衍射分束器非常適合激光雷達，分色、外科手術以及計量學領域等多種應用。

2.     半導體Si 劃片采用光束分束器可以減少熱效應并提高切割效率

Diffractive Line Generators 線整形器

單橫模激光器如固體、光纖、半導體、氣體以及倍頻或三倍頻激光器的高斯光束分布不能很好地應用于均勻照明中。

Jenoptik 的衍射線整形器可將高斯激光束轉換為均勻的一維均勻平頂分布，而無需額外光學元件

產品優勢：

• UV 到NIR 波段范圍
• 均勻性<5%
• 衍射效率>90%
• 線寬<100 um

  應用：

• 鋰電池激光材料加工
• FPD、半導體
• 全息
• 光學傳感

案列：鋰電激光表面去除清洗

Grating光柵

e2®-透射脈寬壓縮光柵

是皮秒激光器啁啾脈沖放大器（CPA）的核心部件之一

Jenoptik e2®脈沖壓縮光柵具有極高衍射效率，線密度 > 1700 線每毫米，并可用于不同的應用波長（例如 800 nm、1030 nm）。

極低波相差，可承受很高的激光損傷閾值并在很寬的波長范圍內保證高透射率。內置型光柵結構可有效防塵和防止外力機械損傷

優點：

• 高效：最大衍射效率可>98%，有效提高激光器性能
• 靈活：可提供客戶定制
• 高線密度：實現緊湊產品設計和高脈寬壓縮
• 持久耐用：熔融石英材質和雙面增透膜，可保證熱穩定性

應用領域：激光材料加工：飛秒激光器諧振腔配置

衍射擴散器

您可使用業納衍射擴散器吸收一束單色激光束并將其散射為任何可想象的圖案。

和衍射分束器一樣，擴散器將一束入射光束轉換為多束輸出光束，可以控制輸出光束的角度和強度。不過，與分束器不同的是，這些光束相互重疊并干涉，生成一種新的均勻化分布。

因此，與折射均勻器類似，衍射擴散器非常適合用于要求特定激光束形狀的激光應用。它們還能讓您在距光源一定距離的特定范圍內實現均勻性能。光學元件可實現 3-5% 的均勻性，同時光線分布的形狀可以是圓形、矩形或可自由選擇。

我們的衍射擴散器可以嚴格控制射束的角度，確保特別高的效率。擴散器對于對準不敏感，并且不會影響輸入射束的偏振。這使得衍射擴散器非常適合要求快速感應很大區域的應用，例如遙感或激光雷達（LIDAR/LADAR）領域。擴散器涵蓋從深紫外（DUV）到紅外的波長范圍。

 

光學部件以及模組

幫您獲得未來產品基于其職能解決方案

我們可以提供：

包含有多種標準光學元件增透膜（球面， 非球面，柱面等），紅外光學元件鍍膜，高反射金屬反射鏡以及高端光學模組。

光學模組：預校準及一體化光學子系統

-    衍射光學器件+DOE+顯微物鏡

-    常規、電動擴束鏡+DOE+場鏡

優勢：

-     中/德/美研發聯合開發

-     德國制造品質

應用：

-    太陽能

-     PCB

-    半導體

-    3D增材

 

 

環生成器

環生成器可將入射激光轉變成單個或多個圓環，圓環厚度等于衍射極限下的光斑大小，可應用于3D測繪領域。我們除了提供標準產品外，還可根據圓環數，圓環分離角等參數進行定制。

 

高斯整平頂衍射元件平頂光束整形器

光束整形器可將(準)高斯分布的入射激光轉變成任意波前形狀的激光輸出(圓形，方形，正方形和線性)，光束光強分布均勻，具有陡峭的邊緣。均勻分布的光斑在光處理過程中具有很大的優勢，可以有效排除特殊區域的過量曝光或曝光不足。另外，陡峭的光束邊緣使光處理區域和非處理區域的界限更加明顯。

光束整形器可以分為：光束聚焦整形器，角光束整形器(平頂分布)和M整形器。

 

衍射光學元件DOE-勻束器

勻束器能靈活地將任何準直激光精確地轉變成任意形狀的均勻光束，非常適用于需要不同形狀且具有隨機強度剖面的應用領域。勻束器的輸出依賴于輸入光斑的特性，相對于單模光束，多模光束具有較低的相干性，這使得輸出的斑點更少，從而形成更加均勻的光強輸出。

 

衍射光學元件DOE 點陣分束器

點陣分束器可將輸入光束轉換成1維或2維的光束序列，分束后的光斑具有與入射光束相同的特性(功率和傳播方向除外)。根據元件上圖樣的不同，點陣分束器可將入射光轉變成1維(1xN)或2維(MxN)點陣。根據不同的設計，點陣分光器可工作在特定的波長并產生特定輸出角度的光斑。另外，我們還提供二進制的傳播相位光柵(占空比為50%的特殊1維Damman光柵)。除了提供標準產品外，我們還可以根據光斑數量和分布，占空比、調制深度、周期、反射式或傳播式等為客戶進行定制。

 

多焦點聚焦透鏡

多焦點衍射光學元件由平凸聚焦鏡和依附于其平面上的衍射元件構成，可將單個入射光斑同時聚焦于多個固定的焦平面上。多焦點透鏡可作為準細長聚焦元件，增加聚焦深度，應用于玻璃激光切割和微加工領域。

 

多波長聚焦鏡

雙波長聚焦鏡由平凸鏡和衍射元件組成，可將不同波長的兩束入射光聚焦于相同的焦點。例如，雙波長聚焦鏡可以消除CO2激光和可見光之間的色差，將兩束光聚焦于同一焦點。