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污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。

等離子光氧一體機有足夠的能量來產(chǎn)生自由基，引發(fā)一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)。由低溫等離子體引起的氣體有機物化學(xué)反應(yīng)是在氣相中進行的電離、離解、激發(fā)、原子分子間的相互結(jié)合及加成反應(yīng)。這個能量足以使大多數(shù)氣態(tài)有機物中的化學(xué)鏈發(fā)生斷裂，從而使其降解。

由于大氣受污染而酸化，導(dǎo)致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災(zāi)難頻繁的發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟、可行性強的處理方式勢在必行。降解揮發(fā)性有機污染物傳統(tǒng)的處理方式如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VCOs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VCOs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。