RTO也可稱為直接燃燒凈化技術，RTO技術是指蓄熱式熱氧化技術，英文名為“Regenerative Thermal Oxidizer”。RTO蓄熱式熱氧化回收熱量采用一種新的非穩態熱傳遞方式，原理是把有機廢氣加熱到760℃以上使廢氣中的VOC氧化分解成CO2和H2O。氧化產生的高溫氣體流經特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此蓄熱用于預熱后續進入的有機廢氣，從而節省廢氣升溫的燃料消耗。RTO技術適用于處理中低濃度（100-3500mg/m3）廢氣，分解效率為95%-99%。

RCO技術是指蓄熱式催化燃燒法，RCO蓄熱式催化燃燒法作用原理是：第一步是催化劑對VOC分子的吸附，提高了反應物的濃度，第二步是催化氧化階段降低反應的活化能，提高了反應速率。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度下，發生無氧燃燒，分解成CO2和H2O放出大量的熱，與直接燃燒相比，具有起燃溫度低，能耗小的特點，某些情況下達到起燃溫度后無需外界供熱，反應溫度在250-400℃。

有機廢氣催化燃燒裝置主要用于涂裝、印刷、機電、家電、制鞋、塑料及各種化工車間里揮發或泄漏出的有害有機廢氣的凈化及臭味的，較適用于較低濃度的、不宜采用直接燃燒或催化燃燒和吸附回收處理的有機廢氣，尤其對大風量的處理場合，均可獲得滿意的經濟效益和社會效益；有機廢氣是石油化工、輕工、塑料、印刷、涂料等行業排放的常見污染物，有機廢氣中常含有烴類化合物（芳烴、烷烴、烯烴）、含氧有機化合物（醇、、有機酸等）、含氮、硫、鹵素及含磷有機化合物等。如對這些廢氣不加處理，直接排入大氣將會對環境造成嚴重污染，危害人體健康。傳統的有機廢氣凈化方法包括吸附法、冷凝法和直接燃燒法等，這些方法常有易產生二次污染、能耗大、易受有機廢氣濃度和溫度限制等缺點。而新的催化燃燒技術已由實驗階段走向工程實踐，并逐漸應用于石油化工、農藥、印刷、涂料、電線加工等行業。

催化焚燒反響放出很多的反響熱，因而焚燒尾氣溫度很高，對這部分熱量有必要收回。一般首要經過換熱器將高溫尾氣與進口低溫氣體進行熱量交流以削減預熱能耗，剩下熱量可選用其他方法進行收回，在出產設備排出的有機廢氣溫度較高的場合，如漆包線、絕緣材料等烘干溫度可達300度以上，能夠不高置預熱器和換熱器。 但焚燒尾氣的熱量仍應收回。

有機廢氣處理中催化焚燒工藝流程有分建式與組合式兩種。

在分建式流程中，預熱器、換熱器、反響器均作為獨立設備別離設立，其間用相應的管路銜接，一般使用于處理氣量較大的場合。

組合式流程將預熱、換熱及反響等部分組合安裝在同一設備中，即所謂催化焚燒爐，流程緊湊、占地小，一般用于處理氣量較小的場合。我國有這類設備的定型產品，可根據處理氣量的巨細進行選擇。