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低溫等離子廢氣處理污染物的機理：

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱

低溫等離子廢氣處理設備在投入工業生產中后，能夠有效地利用氯酸鹽進行電解和分解有害物質，以超強的吸附功能進行空氣凈化處理。當等離子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面時，荷電在電場浸染下顆粒污染物被集塵極收集。且它在零件設備上還具有下列特征：結構合理、緊湊、體積適中、重量輕、選材壽命長、維護精練、使用耗材成本低。采用深冷法設備，能耗高、投資年夜、下場差。

當等離子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面時，荷電在電場浸染下顆粒污染物被集塵極收集。且它在零件設備上還具有下列特征：結構合理、緊湊、體積適中、重量輕、選材壽命長、維護精練、使用耗材成本低。采用深冷法設備，能耗高、投資年夜、下場差。

由此可見，低溫等離子廢氣處理設備在功能上具有凈化空氣和調節環境的作用，并且它的組成零件還將朝著多技術型領域不斷發展。

低溫等離子廢氣處理技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極大的危害；另外工業煙氣的無控制排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。