光氧凈化設備技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，可以用于處理污水多聯等難降解物質。另外，在有紫外光的系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，分解產生自由的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。

光氧凈化設備系統采用光解方式處理有機廢氣，沒有高溫、高壓危險，使用安全，操作簡單，便于各種行業的使用管理，特別適合防火、安全要求高的場合使用。采用高能紫外線光燈，利用特定波長的紫外線對有機物進行轉化，不會出現像活性炭吸附達到飽和而出現效果下降的情況，廢氣轉化效率高、處理效果長期穩定。光解處理區采用光解轉化有機廢氣，反應區內只安裝燈具，只是進出兩端設置隔離層，氣流平穩、緩慢，阻力小，選用系統風機的壓力要求低，降低配套設施運行能耗和費用。采用“光照”的方式處理有機廢氣，在光解反應區內將有機物質直接轉化，不另外增加中間介質或過程，不產生二次污染，也不需要另外加入其他能耗，只需要亮燈光照即可，燈具的使用壽命長，所以本設備運行費用低，不產生二次污染，屬于清潔、低能耗的高技術環保系統。