利用高臭氧UV紫外光束分解空氣中的氧分子，產生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜正負電子不平衡，而需要與氧分子結合，進而生成臭氧，對惡臭及其它有刺激性異味的氣體起到立竿見影的凈化效果。

光氧凈化設備是目前研究較多的一項高級氧化技術。所謂光氧催化反應，就是在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，然后會發生化學反應生成新的物質，或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量，在太陽能的利用中光電轉化以及光化學轉化一直是十分活躍的研究領域。

光氧凈化設備技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，可以用于處理污水多聯等難降解物質。另外，在有紫外光的系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，分解產生自由的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。

光氧凈化設備系統采用光解方式處理有機廢氣，沒有高溫、高壓危險，使用安全，操作簡單，便于各種行業的使用管理，特別適合防火、安全要求高的場合使用。采用高能紫外線光燈，利用特定波長的紫外線對有機物進行轉化，不會出現像活性炭吸附達到飽和而出現效果下降的情況，廢氣轉化效率高、處理效果長期穩定。光解處理區采用光解轉化有機廢氣，反應區內只安裝燈具，只是進出兩端設置隔離層，氣流平穩、緩慢，阻力小，選用系統風機的壓力要求低，降低配套設施運行能耗和費用。采用“光照”的方式處理有機廢氣，在光解反應區內將有機物質直接轉化，不另外增加中間介質或過程，不產生二次污染，也不需要另外加入其他能耗，只需要亮燈光照即可，燈具的使用壽命長，所以本設備運行費用低，不產生二次污染，屬于清潔、低能耗的高技術環保系統。