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低溫等離子廢氣處理設備在處理聚合物表面發生的交聯、化學改性、刻蝕主要是因為等離子體使聚合物表層分子發生斷鍵生成大量的自由基。實驗說明，隨著等離子處理時間的延長、放電功率增大,生成的自由基強度增加，達到最大點后進入一種動態平衡;放電壓力在某一定值時,自由基強度出現最大值，即在特定條件下低溫等離子體對聚合物表面反應的程度最深。

低溫等離子廢氣處理污染物的機理：

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱

低溫等離子廢氣處理設備在投入工業生產中后，能夠有效地利用氯酸鹽進行電解和分解有害物質，以超強的吸附功能進行空氣凈化處理。當等離子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面時，荷電在電場浸染下顆粒污染物被集塵極收集。且它在零件設備上還具有下列特征：結構合理、緊湊、體積適中、重量輕、選材壽命長、維護精練、使用耗材成本低。采用深冷法設備，能耗高、投資年夜、下場差。

當等離子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面時，荷電在電場浸染下顆粒污染物被集塵極收集。且它在零件設備上還具有下列特征：結構合理、緊湊、體積適中、重量輕、選材壽命長、維護精練、使用耗材成本低。采用深冷法設備，能耗高、投資年夜、下場差。

由此可見，低溫等離子廢氣處理設備在功能上具有凈化空氣和調節環境的作用，并且它的組成零件還將朝著多技術型領域不斷發展。

低溫等離子廢氣處理技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極大的危害；另外工業煙氣的無控制排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。

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