自身熱平衡式。

有機廢氣溫度高且有機物含量較高，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用，通過熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，低溫等離子廢氣處理正常操作下就能夠維持熱平衡，不需要補充熱量.

吸附-催化燃燒。

當有機廢氣的流量大、濃度低、溫度低、低溫等離子廢氣處理采用催化燃燒需消耗大量的燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上并進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附成為高濃度有機廢氣（可濃縮10倍以上）后再進行催化燃燒。

催化燃燒凈化設備主要由阻火器、熱交換器、催化反應床、風機這幾個主要部件組成，與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較完全。催化燃燒所用的催化劑為具有大比表面的貴金屬和金屬氧化物。UV光解催化凈化器催化燃燒法是將有機污染物的廢氣、在催化劑鉑、鈀等催化劑的作用下，可以在較低溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。