催化燃燒是借助催化劑在低溫下(200～400℃)下，實現對有機物的完全氧化，因此，操作簡便，安全，凈化效率高，在有機廢氣特別是回收價值大的有機廢氣凈化等領域應用廣泛。

催化燃燒工藝低溫等離子廢氣處理流程可分為三種

1、預熱式。

預熱式是催化燃燒的最基本的流程形式，其基本原理見圖1。有機廢氣溫度在100℃以下、濃度也較低時，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫。通常采用煤氣或電加熱將廢氣升溫至催化反應所需的起燃溫度；低溫等離子廢氣處理設備燃燒凈化后的氣體在熱交換器內與未處理的廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。

2、自身熱平衡式。

有機廢氣溫度高且有機物含量較高，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用，通過熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，低溫等離子廢氣處理正常操作下就能夠維持熱平衡，不需要補充熱量.

3、吸附-催化燃燒。

當有機廢氣的流量大、濃度低、溫度低、低溫等離子廢氣處理采用催化燃燒需消耗大量的燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上并進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附成為高濃度有機廢氣（可濃縮10倍以上）后再進行催化燃燒。

催化燃燒凈化設備主要由阻火器、熱交換器、催化反應床、風機這幾個主要部件組成，與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較完全。催化燃燒所用的催化劑為具有大比表面的貴金屬和金屬氧化物。UV光解催化凈化器催化燃燒法是將有機污染物的廢氣、在催化劑鉑、鈀等催化劑的作用下，可以在較低溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。