采用uv光氧除塵器工藝對單一的有機廢氣物質或惡臭氣體物質嚴格控制進氣濃度、氣量及其他條件時，uv光氧除塵器功率充足的情況下，測得uv光氧除塵器效率均可達到99%以上。但實際運用過程中，由于受到各種因素或者條件的影響，如廢氣成分復雜，廢氣濃度不穩定或者不能達到uv光氧除塵器最適中的范圍（濃度過高或過低均會影響其凈化去除率），風量、氣壓、溫度、濕度等環境條件不穩定或者達不到uv光氧除塵器的要求，廢氣預處理做的不夠理想，后續排放管道沒有留夠充足的氧化反應管道等等，導致uv光氧除塵器的凈化效率參差不齊，差異很大，甚至在滿足所有外在條件的基礎上，處理不同成分的廢氣其凈化效率也有差別。所以很難單純的去界定一套uv光氧除塵器設備對廢氣的凈化去除率，我們只能說盡量的去調整影響uv光氧除塵器設備凈化率的各種因素，盡量的去提高uv光氧除塵器工藝的凈化效率。在各種因素都比較適宜的條件下，uv光氧除塵器系統在實際運用中是可以達到90%以上的，甚至某些成分的廢氣其凈化效率可以達到95%以上甚至更高。