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氣浮測量裝置是微納加工技術與裝備重點實驗室自主研發的高精度氣浮測量裝置，用于精密光學器件和玻璃元件等精密元件的檢測，在超精密加工工藝中，對超精密器件的檢測是超精密加工的重要組成部分。氣浮測量裝置總裝配效果。被測工件放置在大理石平臺上，因大理石平臺的平面度和光潔度達不到要求，造成檢測結果與實際結果偏差較大。為使測量精度盡可能高，在裝配的過程中，對各個部件間的配合精度要求會更高，市場上外購的通過企業加工的大理石平臺的平面度和光潔度往往達不到設計時所需的要求，進而需要進一步手工精細研磨。

環境對大理石研磨的影響主要指溫度和振動對其影響。在超精密加工和測量的過程中，對溫度和振動的要求極高。經過試驗分析，采用同一測量方法對大理石平尺(直線度2.5μm）在精密恒溫恒濕的實驗室中，在空調開啟前后的4h后分別進行測量，直線度相差3μm。
振動如人的走動等都會對精密加工和檢測造成嚴重影響，本次研磨實驗中保證實驗室恒溫恒濕且大理石平臺周邊都經過地基處理來防止振動造成影響。
大理石平臺研磨所需的材料
1、研磨平臺
研磨平臺是一種能夠保證被研磨件的精度和表面光潔度，同時壓嵌在研磨劑上的平板研磨設備，實驗室采購的研磨平臺操作簡單、上砂快、嵌砂量足，打磨后，被研磨件光潔度顯著提高，被研磨件易得到所需的光潔度和平面度。
2、磨料碳化硼
研磨劑由磨料和研磨液調和而成。研磨液主要起到冷卻和潤滑的作用，常用煤油、汽油、甘油等。磨料碳化硼熔點為2350℃，硬度低于金剛石，高于剛玉和碳化硅，常用作精密大理石平臺的研磨。
研磨方法
研磨和測量過程
(1)將待研磨的花崗石平臺平面用乙醇清洗棉紗布擦干，使大理石平面光潔。
(2)大理石平面的尺寸1200mmX800mm，瑞士電子水平儀的固定長度為150mm，故在大理石平臺上以150mm為步長，用記號筆和鋼尺(其它也可，便于劃線)配合在大理石平面進行長度和寬度方向上進行網格劃分，網格劃分目的是每次測量時準確放置水平儀的位置，特別注意記號筆不可用力刻畫大理石平面，以免人為傷到大理石平臺，使平面度精度降低，研磨更加困難。
(3)計算機中提前安裝與電子水平儀的配套軟件Wyler，測量前先打開軟件Wyler，進入LvelsoftPRO界面中，在軟件的文件和選項中根據需求進行測量的各種設置，如設置測量模板和測量單位等各項個性化設置。
(4)用電子水平儀按網格分別在長度和寬度方向上進行測量，一般先放置長度方向，完畢后軟件會提示放置寬度方向。在放置電子水平儀時找準網格參照，盡量使每次放置的位置相同，因為多次放置和測量可以減少人為的測量誤差。讀出電子水平儀中的顯示數據輸入Wyler軟件中，需要兩個人合作完成本部分(也可以用電子水平儀的無線藍牙模式和軟件連接進行數據讀入)，數據輸入完成后，軟件會根據設置顯示所需的平面度結果。
(5)根據分析結果中的色相圖，在大理石的大平面上需要研磨的部分進行適當研磨，磨料碳化硼和研磨液甘油按適合比例混合形成研磨劑，研磨劑先均勻涂在大理石平臺上需要研磨的部分，然后用研磨平板進行研磨。在研磨的過程中分為粗研磨和精研磨過程，粗研磨過程中，因研磨量大，可以適當用力；在精研磨過程中，就要用力均勻保證研磨精度。同時局部研磨過程中使研磨平板的運動軌跡一直為8字型，這樣研磨同一性和尺寸一致性都好，不容易出現塌邊現象。
(6)重復上面步驟1一步驟5，直至達到所需要的精度。
高唐縣鑫凱精密機械有限公司（http://www.xinkaijingmi.com）專業從事大理石構件定做，系大理石異型加工和精密加工的專業制造商，公司一直致力于大理石量具、濟南青花崗石構件的設計和生產，產品廣泛應用于電站、冶金、機械、化工等生產領域。

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