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H2O+e（5.09eV）→·OH+HO+·OH→·OH2 運行成本低：低溫等離子一體機設備無任何機械動作，無噪音，無需專人管理和日常維護，只需作定期檢查，本設備能耗低，（每處理1000立方米/小時，僅耗電約0.1度電能），設備風阻極低30pa，可節約大量排風動力的能耗.無需預處理：惡臭氣體無需進行特殊的預處理，如加溫、加濕等，設備工作環境溫度在攝氏-30-65之間，濕度在40％-95％之間均可正常工作。

低溫等離子廢氣處理設備的特點：

1.使用壽命：使用壽命長。

2.投入和維護費用：一次性投入成本較高，后期維護成本少。

3.二次污染：無二次污染。

4.兼具物理效應、化學效應和生物效應，處理效率高。

等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。

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