簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，日立掃描電鏡是一種利用高能電子束來(lái)掃描樣品表面，從而獲得極高分辨率微觀形貌信息的精密分析儀器。 它被譽(yù)為科學(xué)家和工程師觀察微觀世界的“眼睛”，其核心功能遠(yuǎn)超普通光學(xué)顯微鏡。

以下是它的主要用途和功能，分為幾個(gè)層面來(lái)說(shuō)明：

一、核心功能：超高倍率成像

這是SEM最基本和最重要的功能。它可以輕松地將樣品放大幾百倍到幾十萬(wàn)倍，觀察到肉眼和光學(xué)顯微鏡無(wú)法分辨的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

· 應(yīng)用舉例：
  · 觀察集成電路（芯片）上的納米級(jí)線路和晶體管結(jié)構(gòu)。
  · 查看金屬材料的晶粒形態(tài)、裂紋和斷口形貌。
  · 觀察細(xì)菌、病毒、花粉、細(xì)胞等生物樣品的表面超微結(jié)構(gòu)。
  · 分析纖維、涂層、粉末、催化劑等材料的表面形態(tài)和分布。

二、不僅僅是形貌：提供多種信息

現(xiàn)代掃描電鏡（尤其是日立的高端型號(hào)）通常集成了多種探測(cè)器，不僅能看形貌，還能提供豐富的其他信息：

1. 微觀形貌觀察（最常用）
   · 如何實(shí)現(xiàn)： 通過探測(cè)電子束與樣品表面相互作用產(chǎn)生的二次電子。
   · 特點(diǎn)： 圖像具有強(qiáng)烈的立體感和出色的景深，能清晰呈現(xiàn)樣品表面的凹凸、裂紋、顆粒等三維形貌。
2. 成分分析（非常重要）
   · 如何實(shí)現(xiàn)： 通過探測(cè)電子束激發(fā)的特征X射線（這種附件稱為能譜儀，EDS或EDX）。這是日立電鏡非常常見的配置。
   · 功能：
     · 元素鑒定： 分析樣品上某個(gè)微小點(diǎn)（可達(dá)微米甚至納米級(jí)）含有哪些化學(xué)元素。
     · 元素分布面掃描： 生成元素的分布圖，直觀顯示不同元素在樣品哪個(gè)區(qū)域富集、哪個(gè)區(qū)域稀少。
     · 半定量分析： 大致確定各元素的含量百分比。
   · 應(yīng)用舉例：
     · 分析金屬夾雜物的成分。
     · 檢查焊點(diǎn)表面的污染元素。
     · 鑒別礦物相的種類。
3. 晶體結(jié)構(gòu)信息
   · 如何實(shí)現(xiàn)： 通過探測(cè)背散射電子。
   · 功能：
     · 成分襯度像： 平均原子序數(shù)越大的區(qū)域越亮，可用于快速區(qū)分不同成分的區(qū)域（如區(qū)分鋁和鋁中的鐵雜質(zhì)）。
     · 取向襯度像： 顯示樣品中不同晶粒的晶體學(xué)取向。

三、主要應(yīng)用的行業(yè)和領(lǐng)域

基于以上強(qiáng)大功能，日立掃描電鏡被廣泛應(yīng)用于：

· 材料科學(xué)： 研究金屬、陶瓷、高分子、復(fù)合材料等的微觀結(jié)構(gòu)、斷裂機(jī)理、相組成等。
· 半導(dǎo)體與電子工業(yè)： 芯片設(shè)計(jì)、制造、失效分析、工藝監(jiān)控、線寬測(cè)量等，是必不可少的工具。
· 生命科學(xué)： 觀察生物組織、細(xì)胞、微生物的超微結(jié)構(gòu)，常用于醫(yī)學(xué)和生物學(xué)研究。
· 地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)： 分析礦物的形態(tài)、結(jié)構(gòu)和成分，進(jìn)行巖礦鑒定。
· 納米技術(shù)： 表征納米材料（如納米管、納米顆粒）的形貌和尺寸。

· 工業(yè)生產(chǎn)與失效分析： 對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)控，分析產(chǎn)品（如金屬零件、涂層）為何會(huì)斷裂、腐蝕或失效。

四、產(chǎn)品特點(diǎn)

FexSEM10001，憑借全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測(cè)器，可在加速電壓 20KV下實(shí)現(xiàn) 4.0nmn 的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面，具有亮度和對(duì)焦自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行各種觀察。此外，還搭載了全新的導(dǎo)航功能"SEM MAP”，該功能可彌補(bǔ)電子顯微鏡上難以找準(zhǔn)視野的缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)最直觀的視野移動(dòng)。
       1、小型高性能的電子光學(xué)鏡筒
盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型”電子顯微鏡，卻具備同類產(chǎn)品中最高的分辨率，仍可實(shí)現(xiàn) 4.0nm 的分辨率。

*1:設(shè)置到桌面上時(shí)，請(qǐng)將機(jī)體與電源盒分離
        2、高成像質(zhì)量
·配備可優(yōu)化的發(fā)射束流功能，以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，而獲得噪點(diǎn)小且清晰的圖像。
·憑借獨(dú)特的高靈敏度二次電子檢測(cè)器、背散射電子檢測(cè)器、低真空檢測(cè)器(VD”)，可在低加速電壓!低真空下觀察時(shí)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量圖像。

3、實(shí)用的高畫質(zhì)和快速觀察能力

·全新的用戶界面，無(wú)論用戶的熟練程度如何，都可實(shí)現(xiàn)高畫質(zhì)和高處理能力。
·搭載 GUL和自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，讓初學(xué)者也能得心應(yīng)手。只要按一下自動(dòng)對(duì)焦(AFC)、自動(dòng)亮度調(diào)節(jié)(ABCC)按鈕，就可以獲得最佳的圖像。(自動(dòng)調(diào)節(jié);與以往相比，縮短時(shí)間約13 秒”)
當(dāng)然，也可以通過觸屏進(jìn)行操作。