MF3000M氣體質(zhì)量流量計MF3000S微型流量傳感器

產(chǎn)品簡介：MF3000系列氣體質(zhì)量流量計采用旁路設計并使用本公司專用的MEMS流量傳感器芯片，集成了時域流量傳感技術和智能電子技術。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術相比，這種獨特的時域流量傳感技術消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅度提升。時域流量傳感技術還提供了更好的線性度，并使用度效應大幅降低。

MF3000系列氣體質(zhì)量流量計能直接測量氣體質(zhì)量流量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計測量范圍覆蓋（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM,該流量計工作壓力提高到0.8MPa，MF3000系列氣體質(zhì)量流量計提供多種信號輸出，通過RS485或I2C數(shù)字通訊接口可實現(xiàn)遠程數(shù)據(jù)采集與設置，并可選擇NPN或PNP開關信號輸出。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計同時具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或者查詢流量計的參數(shù)。本產(chǎn)品可用于工業(yè)應用中的焊接機器、激光設備、氣體混合控制等。

產(chǎn)品特點：

質(zhì)量流量，時域傳感技術

全量程覆蓋（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM

全量程高精度和優(yōu)良的重復性

可測量多種氣體不需要特別修正

多種輸出信號可選

支持多種連接方式，易于安裝與使用

工作原理

MF3000系列氣體質(zhì)量流量計是基于銘鴻儀表公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

該流量的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。MEMS芯片上溫度傳感器將測量到具體的溫度變化并轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、調(diào)理和線性化處理后，通過LED顯示或模擬、數(shù)字信號輸出。由于不同種類的氣體對微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的溫度變化不同，所以能測量氣體的質(zhì)量流量。

技術參數(shù)：

流量范圍：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM

量程比：50：1

精度：±（2.5+0.5FS）%

重復性：1.0%

零點穩(wěn)定度：±30MV

輸出漂移：±0.12%/℃

響應時間10MS

工作電源：8-24VDC,50MA

信號輸出1：RS485或I2C

信號輸出2/3：模擬電流4-20mA/模擬電壓：1-5VDC/NPN/PNP

顯示方式：4位4段LED數(shù)碼管，2個指示燈

顯示單位：瞬時流量：SLPM;累積流量：SL或Nm3

顯示分辨率：瞬時流量：0.01SLPM,累積流量：0.1SL或0.01Nm3

工作壓力：0.8MPa

工作溫度：-10～+55℃

儲存溫度：-20～+65℃

工作濕度：<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）

機械接口：BSRT1/4外螺紋  4、6、8MM快速接頭  或8mmL型接頭  BSPT1/2內(nèi)螺紋

按鍵：三個按鍵

校準方式：空氣（20℃，101.32kPa）

電氣接品：6針插座，廣瀨：DF51K-6P-2DS

符合性：RoHS,REACH

備注：1.為了確保流量計的測量精度，使用前需要預熱一分鐘

2. 傳感器默認為空氣校準，測量 其它氣體時，精度會有所下隆

3. 默認響應時間這10MS可通過修改濾波深度調(diào)慢響應時間。

4. 以上參數(shù)在為20℃101.325kPa下測得。

輸出引線定義：

1、紅色：信號輸出3：NPN/PNP

2、灰色：信號輸出2：模擬電流4-20mA/模擬電壓1-5VDC/PNP/NPN

3、藍色:GND 電源/信號地（-）

4、棕色：VCC電源正8-24VDC（+）

5、黑色：RS485A(+)I2C時鐘線（SCL）

6、白色：RS485B(-）I2C數(shù)據(jù)線(SDA）

流量計的電氣接口為DF51K-6P-2DS（廣瀨），出廠時帶一型號為DF51K6-100的配線，長度 為100CM，一端為插頭DF51K-6S-2C(與DF51K-6P-2DS配套連接)另一端散口。