真空泵機(jī)組在半導(dǎo)體制造業(yè)中有很多種不同的真空泵機(jī)組。我們把它們分成兩類：初級泵和高級真空泵機(jī)組。初級泵有幾種用途：在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級真空(壓力小于10-3托)；清空多腔集成設(shè)備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖)；為高級真空泵機(jī)組用來獲得壓力，范圍10-3托到10-9托的。
新型晶片廠中使用的現(xiàn)代真空泵機(jī)組是干性的，意味著其內(nèi)部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤滑劑。 要先用機(jī)械泵將系統(tǒng)抽至低真空，再接通擴(kuò)散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正常回流后再啟動油擴(kuò)散泵。關(guān)閉油擴(kuò)散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰后再關(guān)冷凝水，再關(guān)閉擴(kuò)散泵前后兩個活塞，接著將機(jī)械泵的抽氣日通大氣后才能停機(jī)械泵.通常在機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵之前安一冷阱，以免有機(jī)物、水汽等雜質(zhì)進(jìn)入機(jī)械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。 對玻璃真空系統(tǒng)的檢漏，使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強(qiáng)氣體在高頻電場中，發(fā)生感應(yīng)放電時所產(chǎn)生的不同顏色。
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