一、CF4泄漏分析儀技術原理：  
DKG-ONECF4氣態分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術，結合量子級聯激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。  
二、CF4泄漏分析儀特點：  
l高選擇性的監測痕量水平的CF4  
l檢測下限(LoD)低于0.1ppb  
l響應時間可設置，從10秒到幾分鐘  
l動態范圍寬，運行穩定  
l無耗材  
l低樣品量（幾ml）  
l內置氣體交換系統  
l重新校準間隔長（幾個月）  
l直觀的用戶界面  
l內置顯示屏，可數字式或者圖線式顯示結果  
l可通過局域網遠程操作  
三、測量參數：  
l響應時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時間和采樣設定從大約10秒到幾分鐘不等  
l監測下限：小于0.1ppb  
l動態量程：大于5個數量級（檢測下限的100,000倍)  
l重復性：運行條件下，校準濃度重復性小于1%  
l準確度：校準濃度高于5%，受限于校準氣體準確度  
l溫度穩定性：在運行溫度范圍內的環境溫度變化不會導致漂移  
l壓力穩定性：壓力范圍內的樣品壓力變化不會導致漂移
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