負壓真空泵，指的就是微型真空泵。因為具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續(xù)形成真空或負壓（相對真空），排氣嘴處形成微正壓。正是因為進口處形成負壓，所以又把微型真空泵叫做小型負壓泵。
負壓真空介紹真空負壓站內(nèi)真空度下降的現(xiàn)象及解決方法：
1.泵內(nèi)的結(jié)構(gòu)間隙變大。這是由于長期的抽的氣體內(nèi)含有粉塵小顆粒等，造成旋片和轉(zhuǎn)子子之間磨損后的間隙增大。解決方法：檢查間隙是否過大，更換新的轉(zhuǎn)子或旋片。關(guān)鍵是在進氣口前安裝過濾器過濾網(wǎng)等。
2.真空負壓站用油的型號和之前的不一樣。因為不同的油型號粘稠度，濃度都不一樣，油內(nèi)的飽和蒸汽壓不一樣，所以效果是不一樣的。解決方法：根據(jù)產(chǎn)品的型號規(guī)格選擇正確的新真空泵油。
3.泵內(nèi)的油路堵塞或者不通暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的真空泵油，沒有起到潤滑密封的作用。解決之道：檢查油路是否通暢，及時的清理和更換油路部件。
4.被抽氣體的溫度可能增高或者過高。解決方法：降低被抽氣體的溫度，可直接在被抽系統(tǒng)與進口之間加裝冷凝器。
5.由于被抽氣體中含有水蒸汽或可凝氣體導致真空負壓泵站內(nèi)油乳化變色，有雜質(zhì)變黑等等造成的真空度低的情況，解決方法：放掉泵內(nèi)的所有真空泵油，并可反復的添加放掉泵內(nèi)的真空泵油，只至真空泵油顏色正常為止。
負壓真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性優(yōu)化，更適應(yīng)國內(nèi)的各類工況環(huán)境，實際應(yīng)用實現(xiàn)更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。