高性能一體機 ——1000mm/s掃描速度，8m/s2掃描加速度。典型應(yīng)用場景的掃描效率達到35秒/件，為S100機型的X倍。為大批量中小尺寸工件的快速全檢，提供了高性能的解決方案。采用整體焊接框架、主動平衡減振機構(gòu)，有效降低高加速度引起的機體晃動，提高成像質(zhì)量。

主要配置：

1、龍門式高速直線電機掃描運動臺；

2、主動平衡減震系統(tǒng)；

3、整體焊接框架，提高穩(wěn)定性；

4、全封閉防護；

5、萬能夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠程協(xié)助；

6、自動上下水及水循環(huán)凈化系統(tǒng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

精密器件 ——半導(dǎo)體、集成電路和金剛石等行業(yè)高速全檢，適用于理化試驗室或車間現(xiàn)場。

產(chǎn)品參數(shù)

1、工作電源：220V/50Hz，3KW；

2、最大掃描范圍： 500mm×330mm×100mm；圖像推薦分辨率：0.5um ~ 4000um；

3、整機尺寸：1250mm×850mm×1300mm；（標(biāo)配）

4、探頭頻率范圍：1~50MHz；（標(biāo)配，可升級至230MHz）；

5、圖像推薦分辨率：0.5um ~ 4000um；

6、典型掃描耗時：≤35s （測試條件：掃描區(qū)域10mmX10mm，分辨率50um)；

7、最大掃描速度：1000mm/s；最大掃描加速度：8m/s2；

8、運動臺精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重復(fù)精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm。

9、采樣頻率：25~250MHz；（標(biāo)配，可升級至1.5GHz）；

10、每通道可調(diào)增益：-13~66dB;（標(biāo)配，可升級）；脈沖重復(fù)頻率：5kHz；（標(biāo)配，可升級）。