性能優勢：
1. 微小樣品檢測：最小測量面積0.0085mm2
2. 變焦裝置算法：可改變測量距離測量凹凸異形樣品，變焦距離可達0-90mm
3. 核心EFP算法：Al(13)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂鍍層檢測，多層多元素，甚至有同種元素在不同層也可精準測量
4. 先進的解譜技術：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限
5. 高性能探測器：SDD硅漂移窗口面積50mm2探測器
6. X射線裝置：微焦加強型射線管搭配聚焦裝置
7. 上照式設計：實現對超大樣品或者密集點位進行快、準、穩高效率測量
8. 大行程移動平臺：手動XY滑臺100*150mm，自動XY平臺200*200mm
應用領域：涂鍍層分析-RoHS檢測-地礦全元素分析-合金、貴金屬檢測
一六儀器研制的測厚儀獨特的光路交換裝置，讓X射線和可見光攝像同一垂直線，達到視覺與測試定位一體，且X光擴散度小；與EFP軟件配合達到對焦、變焦雙焦功能，實現高低、凹凸不平各種形狀樣品的測試；高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍，可以減少弧度傾斜放樣帶來的誤差，同時特征X射線可以穿透測試更厚的表層
  結構設計：
    研制的測厚儀獨特的光路交換裝置，讓X射線和可見光攝像同一垂直線，達到視覺與測試定位一體，且X光擴散度極小；與EFP軟件配合達到對焦、變焦雙焦功能，實現高低、凹凸不平各種形狀樣品的測試；高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍，可以減少弧度傾斜放樣帶來的誤差，同時特征X射線可以穿透測試更厚的表層。
    獨創EFP算法：
采用Fp算法的后一代全新核心算法--理論Alpha系數法，基于熒光X射線激發的基本原理，從理論上計算出樣品中每個元素的一次和二次特征X射線的熒光強度，在基于此計算Lachance綜合校正系數，然后使用這些理論a系數去校正元素間的吸收增強效應。
    只需少數標樣來校正儀器因子，可測試重復鍍層、非金屬、輕金屬以及有機物層。