現在制備超純水的方法是將各種純化水的新技術科學地結合起來，不僅能生產超純水。而且變得非常容易。自來水進去超純水出來，非常方便。而且使用壽命也越來越長。傳統的純水方法不能制備出超純水，化學意義上純水（液態的H2O）的理論電導率為18.3ΜΩ·cm.人們生產的純水是達不道理論值的，但18ΜΩ·cm似乎是可以達到的，對于這種水，有的稱為高純水有的稱為超純水。

超純水設備工藝原理：
   1、原水泵：供預處理系統正常工作的動力源，為保持后序設備的正常運行，增加壓力。泵相應設置高過熱保護器、壓力控制器，出現故障自動報警。 
2、原水箱：設高、低水位控制。對系統的給水起調節作用，防止自來水給水不足的影響，同時也可對自來水中的雜質起一定的沉淀作用。
3、全自動過濾器：采用石英砂濾料以除去原水中較大顆粒的懸浮物、泥沙、雜質及鐵離子等，降低水的混濁度。