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更新日期2020-09-07 15:19
品牌： |
未填 |
所在地： |
廣東 深圳市 |
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未填 |
供貨總量： |
未填 |
有效期至： |
長期有效 |
上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源 KDC 40. 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射. 適用于已知的所有離子源應用.
離子束流: >100 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲, 流量 (Typical flow): 2-10 sccm.
加熱燈絲產生電子, 增強設計輸出高質量, 穩定的電子流.
離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.
無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計.
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術參數：
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離子源型號 |
離子源 KDC 40 |
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Discharge |
DC 熱離子 |
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離子束流 |
>100 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
4 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
2-10 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
17.1 cm |
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直徑 |
9 cm |
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中和器 |
燈絲 美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 應用領域：伯東 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 應用領域： 1. 濺鍍和蒸發鍍膜 PC 2. 輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD 3. 表面改性, 激活 SM 4. 離子濺射沉積和多層結構 IBSD 5. 離子蝕刻 IBE |
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