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更新日期2020-09-07 15:19
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上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 線性離子源使用 eH 400 做為模組, 能應(yīng)用于寬范圍的襯底, 離子源長(zhǎng)度高達(dá) 1 米, 通過嚴(yán)格調(diào)整模組間的距離可以實(shí)現(xiàn)最jia的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡(jiǎn)化了氣體, 功率和電子三者的分布.
KRI 線性離子源使用標(biāo)準(zhǔn)的端部霍爾模組并使設(shè)備的需求簡(jiǎn)化, 一個(gè)低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng).
尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體
伯東KRI 霍爾離子源 eH Linear 技術(shù)參數(shù)：
|
型號(hào) |
eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5 |
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供電 |
DC magnetic confinement |
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- 電壓 |
40-200V VDC |
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- 陽(yáng)極結(jié)構(gòu) |
模塊化 |
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電源控制 |
eHL-30010A |
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配置 |
- |
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- 陰極中和器 |
Filamentless |
|
- 離子束發(fā)散角度 |
> 45° (hwhm) |
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- 陽(yáng)極 |
標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved |
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- 底座 |
移動(dòng)或快接法蘭 |
|
- 高度 |
10 cm |
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寬度 |
10 cm |
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- 長(zhǎng)度 |
~ 100cm |
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-工藝氣體 |
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others |
|
Model |
eHL 200-3 |
eHL 200-5 |
|
Height (nominal) |
2.9” (7.4cm) |
2.9” (7.4cm) |
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Width (nominal) |
3.3” (8.4cm) |
3.3” (8.4cm) |
|
Length (nominal) |
Determined by number of modules & application |
Determined by number of modules & application |
|
Cathode/Neutralizer |
Yes |
Yes |
|
Anode module |
Yes |
Yes |
|
Filamentless |
Yes |
Yes |
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Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
|
Process gases |
Inert, reactive, & organic |
Inert, reactive, & organic |
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Power controller |
eH Plasma Power Pack |
eH Plasma Power Pack |
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