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上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 系列屬于寬束型離子源, 散射角度>45°.

霍爾離子源氣體流量可選 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同級別.

霍爾離子源電流可選 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.

霍爾離子源高濃度提高鍍膜沉積速率, 低動能減少離子轟擊損傷表面, 寬束設計有效提高吞吐量和覆蓋沉積區.

整體易操作, 易維護. 霍爾離子源 eH 提供一套完整的方案包含離子源, 電子中和器, 電源供應器, 流量控制器 MFC 等等.

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列產品特性:

1.無柵極

2.高電流低能量

3.發散光束 >45°

4.可快速更換陽極模塊

5.可選 Cathode / Neutralize 中和器

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列在售型號及技術參數:

離子源型號	霍爾離子源 eH200(停產)	霍爾離子源 eH400 eH400LE	霍爾離子源 eH1000 eH1000LE eH1000LO	霍爾離子源 eH1000xO2	霍爾離子源 eH2000 eH2000LE eH2000HO	霍爾離子源 eH3000 eH3000LO eH3000MO
Cathode/Neutralizer	F or HC	F or HC	F or HC	F or HC	F or HC HC HC	HC
電壓	30-300V	50-300V 30-150V	50-300V 30-150V 50-300V	100-300V	50-300V 30-150V 50-250V	50-250V 50-300V 50-250V
電流	2A	5A 10A	10A 12A 5A	10A	10A 15A 15A	20A 10A 15A
散射角度	>45	>45	>45	>45	>45	>45
可充其他	Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
氣體流量	1-15sccm	2-25sccm	2-50sccm	2-50sccm	2-75sccm	5-100sccm
高度	2.0“	3.0“	4.0“	4.0“	4.0“	6.0“
直徑	2.5“	3.7“	5.7“	5.7“	5.7“	9.7“
水冷	無	可選	可選	可選	是	可選

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列基本組成

1. 燈絲

2. 陽極模組

3. 主要模組

4. 底座（可調整角度, 高度）

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