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更新日期2020-09-07 15:19
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所在地： |
廣東 深圳市 |
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長(zhǎng)期有效 |
上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源 KDC 系列. 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射.
離子束流: >10 mA~650 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲.
加熱燈絲產(chǎn)生電子, 增強(qiáng)設(shè)計(jì)輸出高質(zhì)量, 穩(wěn)定的電子流.
離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.
通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
考夫曼離子源 KDC 系列包含多種不同尺寸的離子源滿足各類應(yīng)用. 可以直接整合在各類真空設(shè)備中, 例如實(shí)驗(yàn)室小型研發(fā), 鍍膜機(jī), load lock, 濺射系統(tǒng), 卷繞鍍膜機(jī)和線性鍍膜.
伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 特性：
1.通過加熱燈絲產(chǎn)生電子
2.低電流高能量寬束型離子源
伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 技術(shù)參數(shù)：
|
離子源型號(hào) |
離子源 KDC 10 |
離子源 KDC 40 |
離子源 KDC 75 |
離子源 KDC 100 |
離子源 KDC 160 |
|
Discharge |
DC 熱離子 |
DC 熱離子 |
DC 熱離子 |
DC 熱離子 |
DC 熱離子 |
|
離子束流 |
>10 mA |
>100 mA |
>250 mA |
>400 mA |
>650 mA |
|
離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
100-1200 V |
100-1200 V |
100-1200 V |
100-1200 V |
|
柵極直徑 |
1 cm Φ |
4 cm Φ |
7.5 cm Φ |
12 cm Φ |
16 cm Φ |
|
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
||||
|
流量 |
1-5 sccm |
2-10 sccm |
2-15 sccm |
2-20 sccm |
2-30 sccm |
|
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
||||
|
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
|
長(zhǎng)度 |
11.5 cm |
17.1 cm |
20.1 cm |
23.5 cm |
25.2 cm |
|
直徑 |
4 cm |
9 cm |
14 cm |
19.4 cm |
23.2 cm |
|
中和器 |
燈絲 美國(guó) KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列 應(yīng)用領(lǐng)域：KRI 考夫曼離子源 KDC 應(yīng)用： 1.輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜) IBAD 2.濺鍍&蒸鍍 PC 3.表面改性, 激活 SM 4.沉積 DD 5.離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD 6.離子蝕刻 IBE |
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