1。銦合金靶材：銅銦鎵硒合金靶材CIGS、銅銦鎵合金靶材CIG、銅銦合金靶材CuIn、銦錫合金靶材InSn、銦銀合金靶材InAg、銦鈦合金靶材InTi、銦鎘合金靶材InCd、銦金合金InAu、銦鉛錫合金靶材InPbSn、 銦鉛鎘合金靶材InPbCd、銅錳銦合金靶材CuMnIn、金銀銦合金靶材AuAgIn、銅鋅錫硫合金靶材CuZnSnS等

2。鍺合金靶材：鍺碲合金靶材GeTe、鍺銻碲合金靶材GeTeSb、鍺銻合金靶材GeSb、鍺金合金靶材GeAu、鍺錳銅合金靶材GeMnCu、硅鍺合金靶材SiGe、鍺銅合金靶材GeCu、鈦鍺合金靶材TiGe、鍺鎵合金靶材GeGa、鍺鉍合金靶材GeBi等

3。鈦合金靶材：鈦鋁合金靶材TiAl、鈦鋁釩合金靶材TiAlV、鈦鎳合金靶材TiNi、鈦鉬合金靶材TiMo、鈦鈀合金靶材TiPd、鈦鉻合金靶材TiCr、鈦釩合金靶材TiV、鈦銅合金靶材TiCu、鈦鉬鎳合金TiMoNi等。

4。釩合金靶材：釩鈦合金VTi、釩鉻合金VCr、釩鋯合金靶材VZr、釩鉻鈦合金VCrTi、釩鎳合金VNi等。

5。鈮合金靶材：鈮鎳合金靶材NbNi、鈮鈦合金靶材NbTi、鈮鋯合金靶材NbZr、鈮鎢鋯合金靶材NbWZr等。

6。鉭合金靶材：鉭鉬合金靶材TaMo、鉭鎢合金靶材TaW、鉭鉿合金靶材TaHf、鉭鋯合金靶材TaZr、鉭鈮合金靶材TaNb、鉭鈦合金靶材TaTi、鉭鉻合金靶材TaCr、鉭釕合金靶材TaRu、鉭銥合金靶材TaIr等。

7。錸合金靶材：鎢錸合金靶材WRe、鉬錸合金靶材MoRe、鋯錸合金靶材ZrRe、鈦錸合金靶材TiRe、鉑錸合金靶材PtRe、銥錸合金靶材IrRe、鈀錸合金靶材PdRe、鎳錸合金靶材NiRe等。

8。鐵合金靶材：鐵錳合金靶材FeMn、鐵鈷合金靶材FeCo、鐵鎳合金靶材FeNi、鐵鈷硼合金靶材FeCoB、鐵鈷硼硅合金靶材FeCoBSi等

9。其他合金靶材：鋁合金靶材Al、銅合金靶材Cu、錫合金靶材、鋅合金靶材、鎂合金靶材、釕合金靶材Ru、鉑合金靶材Rt、鎢合金靶材W、鉬合金靶材Mo等。

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