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考夫曼射頻離子源 RFICP380成功用于多靶磁控濺射鍍膜機(jī)

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  • 發(fā)布日期:2021-06-17 10:53
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  OEM 廠商為了提高鍍膜機(jī)鍍膜的品質(zhì)其為客戶搭建的多靶磁控濺射鍍膜機(jī)的濺射源采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380, 清洗源采用 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000, 真空腔體搭配的是伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 2300.

 

KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源型號(hào)

RFICP380

Discharge 陽(yáng)極

射頻 RFICP

離子束流

>1500 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

30 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

39 cm

直徑

59 cm

中和器

LFN 2000

 

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)

eH3000

eH3000LO

eH3000MO

Cathode/Neutralizer

HC

電壓

50-250V

50-300V

50-250V

電流

20A

10A

15A

散射角度

>45

可充氣體

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

氣體流量

5-100sccm

高度

6.0“

直徑

9.7“

水冷

可選

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

 

渦輪分子泵 HiPace 2300 技術(shù)參數(shù):

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型號(hào)

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接口 DN

portant;">

抽速 l/s

portant;">

壓縮比

portant;">

最高啟動(dòng)壓強(qiáng)hPa

portant;">

極限壓力

portant;">

全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s

portant;">

啟動(dòng)時(shí)間

portant;">

重量

portant;">

進(jìn)氣口

portant;">

排氣口

portant;">

氮?dú)?/span>N2

portant;">

氦氣He

portant;">

氫氣 H2

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氮?dú)?/span>N2

portant;">

氮?dú)?/span>N2

portant;">

hPa

portant;">

氮?dú)?/span>N2

portant;">

min

portant;">

kg

portant;">

HiPace 2300

portant;">

250

portant;">

40

portant;">

1,900

portant;">

2,000

portant;">

1,850

portant;">

> 1X108

portant;">

1.8

portant;">

< 1X10–7

portant;">

20

portant;">

4

portant;">

34 – 47

 

鍍膜機(jī)實(shí)際運(yùn)用案例:

采用多靶磁控濺射鍍膜機(jī)在 UO_2 陶瓷 IFBA 芯塊表面上濺射沉積 ZrB_2 涂層,與其他未引用 KRI 離子源和 Pfeiffer 分子泵的多靶磁控濺射鍍膜機(jī)相比引進(jìn) KRI 離子源和 Pfeiffer 分子泵后其鍍制的 ZrB_2 涂層附著力明顯提高涂層厚度更加均勻晶粒更加細(xì)小, 沉積率更高.

 

KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.

 

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