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考夫曼射頻離子源RFICP380用于鋁表面濺射沉積ZrN薄膜

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  河北某大學(xué)研究室為了研究磁控濺射時間和氮氣流量對 ZrN 薄膜色度的影響采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助在鋁表面濺射沉積ZrN 薄膜

 

KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

portant;">

射頻離子源型號

portant;">

RFICP380

portant;">

Discharge 陽極

portant;">

射頻 RFICP

portant;">

離子束流

portant;">

>1500 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

30 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦平行散射

portant;">

流量

portant;">

15-50 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

39 cm

portant;">

直徑

portant;">

59 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

 

試驗結(jié)論:

隨著磁控濺射時間的增長薄膜的亮度在減少黃藍值在 3 min時出現(xiàn)最大值說明鍍膜時間在 3 min 時最接近黃色紅綠值波動比較大而氮氣流量在 13~18 sccm 內(nèi)薄膜顏色呈金黃色.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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