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伯東 KRI 考夫曼平行型射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):
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portant;">
離子源型號 |
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RFICP 220 |
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portant;">
Discharge |
portant;">
RFICP 射頻 |
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portant;">
離子束流 |
portant;">
>800 mA |
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portant;">
離子動能 |
portant;">
100-1200 V |
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portant;">
柵極直徑 |
portant;">
20 cm Φ |
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portant;">
離子束 |
portant;">
平行 |
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portant;">
流量 |
portant;">
10-40 sccm |
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portant;">
通氣 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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portant;">
典型壓力 |
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< 0.5m Torr |
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portant;">
長度 |
portant;">
30 cm |
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portant;">
直徑 |
portant;">
41 cm |
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portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
推薦理由:
使用 KRI 考夫曼平行型射頻離子源 RFICP 220 可以準(zhǔn)確、靈活、有效地對樣品選定的區(qū)域進(jìn)行清洗.
運行結(jié)果：
對基體材料表面進(jìn)行離子清洗, 使得基體材料表面與將要沉積的薄膜性非常接近, 這樣得到的薄膜與基體結(jié)合非常牢固, 薄膜質(zhì)量很好.
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
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