伯東 KRI 考夫曼平行型射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):
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離子源型號(hào) |
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RFICP 220 |
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Discharge |
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RFICP 射頻 |
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離子束流 |
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>800 mA |
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離子動(dòng)能 |
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100-1200 V |
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柵極直徑 |
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20 cm Φ |
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離子束 |
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平行 |
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流量 |
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10-40 sccm |
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通氣 |
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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
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< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
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30 cm |
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直徑 |
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41 cm |
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中和器 |
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LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量
推薦理由:
使用 KRI 考夫曼平行型射頻離子源 RFICP 220 可以準(zhǔn)確、靈活、有效地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行清洗.
運(yùn)行結(jié)果:
對(duì)基體材料表面進(jìn)行離子清洗, 使得基體材料表面與將要沉積的薄膜性非常接近, 這樣得到的薄膜與基體結(jié)合非常牢固, 薄膜質(zhì)量很好.
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
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