其工作系統如下圖：

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000最適合大型真空系統, 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上最高效, 提供最高離子束流的離子源.

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術參數:

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

該制造商的離子源輔助鍍膜系統由霍爾離子源, 電源及控制系統和質量流量計 3 部分組成, 如下圖：

其中霍爾離子源發射離子, 質量流量計向離子源提供氣體并保證氣流穩定, 電源及控制系統向離子源供電并保證放電參數放電電壓及電流穩定.

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 運行結果：

1. 適用工業規模生產

2. 獲得良好的機械性能和光學特性的薄膜

3. 獲得與基體牢固結合和優良性能的高質量薄膜

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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