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伯東 KRI離子源用于大口徑光學(xué)元件KDP 晶體的濺射與刻蝕

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   為了滿足激光慣性約束核聚變對(duì)光學(xué)晶體磷酸二氫鉀(KDP)晶體所需的面形精度、表面質(zhì)量的高要求, 對(duì)降低 KDP 晶體表面粗糙度和消除 KDP 晶體表面周期性刀痕, 某廠商采用離子源產(chǎn)生的離子束進(jìn)行KDP晶體的沉積修正拋光.

 

該廠商采用雙離子源濺射沉積系統(tǒng), 其中一個(gè)離子源采用伯東 KRI 聚焦射頻離子源 RFICP 380 對(duì)靶材進(jìn)行濺射, 另一個(gè)離子源采用伯東 KRI 平行考夫曼離子源 KDC 100 對(duì)樣品進(jìn)行離子刻蝕.

 

其工作示意圖如下:

 

用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

portant;">

射頻離子源型號(hào)

portant;">

RFICP 380

portant;">

Discharge 陽(yáng)極

portant;">

射頻 RFICP

portant;">

離子束流

portant;">

>1500 mA

portant;">

離子動(dòng)能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

30 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦

portant;">

流量

portant;">

15-50 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長(zhǎng)度

portant;">

39 cm

portant;">

直徑

portant;">

59 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

推薦理由:

聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

 

用于刻蝕的 KRI 平行考夫曼離子源 KDC 100 技術(shù)參數(shù):

portant;">

 離子源型號(hào)

portant;">

 離子源 KDC 100 

portant;">

Discharge

portant;">

DC 熱離子

portant;">

離子束流

portant;">

>400 mA

portant;">

離子動(dòng)能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

12 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

平行

portant;">

流量

portant;">

2-20 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長(zhǎng)度

portant;">

23.5 cm

portant;">

直徑

portant;">

19.4 cm

portant;">

中和器

portant;">

燈絲

* 可選: 可調(diào)角度的支架

 

推薦理由:

使用 KRI 平行型射頻離子源 RFICP 100 可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行刻蝕, 可以使大口徑光學(xué)元件 KDP 晶體表面更均勻

 

運(yùn)行結(jié)果:

1. 濺射沉積的KDP晶體表面的均勻性在5%以內(nèi), 刻蝕均勻性在5%以內(nèi)

2. 離子束刻蝕可以消除KDP晶體表面周期性刀痕

3. KDP晶體表面粗糙度降低到1.5nm,達(dá)到了預(yù)期目的

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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