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伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術參數:
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portant;">
射頻離子源型號 |
portant;">
RFICP 380 |
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portant;">
Discharge 陽極 |
portant;">
射頻 RFICP |
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portant;">
離子束流 |
portant;">
>1500 mA |
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portant;">
離子動能 |
portant;">
100-1200 V |
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portant;">
柵極直徑 |
portant;">
30 cm Φ |
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portant;">
離子束 |
portant;">
聚焦 |
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portant;">
流量 |
portant;">
15-50 sccm |
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portant;">
通氣 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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portant;">
典型壓力 |
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< 0.5m Torr |
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portant;">
長度 |
portant;">
39 cm |
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portant;">
直徑 |
portant;">
59 cm |
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portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
推薦理由:
使用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380可以準確、靈活地對樣品選定的區域進行沉積和刻蝕.
運行結果:
1. 沉積的類金剛石薄膜厚度約為 1.0 μm, 薄膜均勻且致密, 表面粗糙度Ra為13.23nm
2. 類金剛石薄膜與基體結合力的臨界載荷達到31.0N
3. DLC薄膜具有良好的減摩性, 摩擦系數為0.15, 耐磨性能得到提高
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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