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伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術參數:
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portant;">
射頻離子源型號 |
portant;">
RFICP 380 |
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portant;">
Discharge 陽極 |
portant;">
射頻 RFICP |
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portant;">
離子束流 |
portant;">
>1500 mA |
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portant;">
離子動能 |
portant;">
100-1200 V |
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portant;">
柵極直徑 |
portant;">
30 cm Φ |
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portant;">
離子束 |
portant;">
聚焦 |
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portant;">
流量 |
portant;">
15-50 sccm |
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portant;">
通氣 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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portant;">
典型壓力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
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portant;">
長度 |
portant;">
39 cm |
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portant;">
直徑 |
portant;">
59 cm |
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portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
推薦理由:
使用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380可以準確、靈活地對樣品選定的區域進行刻蝕、減薄.
工藝簡介：
在碳化硅表面制備微納結構圖形, 然后通過 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 對碳化硅微納結構進行刻蝕, 以調控結構的線寬和深度.
運行結果:
1. 結構表面粗糙度由約 106nm 降低到 11.8nm
2. 碳化硅線條結構周圍的毛刺基本消失, 線條結構表面的粗糙度得到顯著改善, 降低結構表面的粗糙度實現高平滑度微光學元件的制備
3. 通過 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 碳化硅菲涅爾波帶片展現出良好的聚焦和成像效果
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
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