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考夫曼霍爾離子源eh 3000用于清洗PPS/PEEK襯底面

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   為了獲得具備電磁屏蔽能力的 PPS, PEEK等高分子輕量化材料 PPS, PEEK 導電性能差、無電磁波屏蔽能力或者達不到理想的屏蔽效果因此某機構(gòu)采用磁控濺射鍍膜工藝對 PPSPEEK 等材料結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品表面進行金屬化處理.

 

其工藝主要分為前處理、鍍膜、后處理等個環(huán)節(jié)

 

前處理需要對 PPS/PEEK 待鍍襯底面進行 Hall 離子源清洗該機構(gòu)采用伯東 KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000  PPS/ PEEK 襯底面進行清洗.

 

KRI 考夫曼 霍爾離子源 Gridless eH 3000 主要技術參數(shù):

離子源型號

霍爾離子源 eH3000

Cathode/Neutralizer

HC

電壓

50-250V

電流

20A

散射角度

>45

可充其他

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

氣體流量

5-100sccm

高度

6.0“

直徑

9.7“

水冷

可選

 

其濺射室需要沉積前本底真空抽到 1×10-5 Pa, 經(jīng)推薦采用伯東經(jīng)濟型分子泵組 HiCube 30 Eco其技術參數(shù)如下: 

泵組型號

進氣法蘭

分子泵
型號

抽速
氮氣l/s

極限真空
 hPa

前級泵型號

前級泵
抽速 m3/h

Hicube 30 Eco

DN 40 ISO-KF

 Hipace 30

22

1X10-7

MVP 015-2

1

 

運用結(jié)果:

1. KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000 對襯底面良好的清洗提高了膜層的附著力

2. 經(jīng)濟型分子泵組 HiCube 30 Eco快速將本底真空抽到 1×10-5 Pa并穩(wěn)定保持整個過程的真空度

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
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