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KRI雙離子源輔助離子束濺射技術(shù)獲取高反射吸收Ta2O5薄膜

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   為了獲取高性能紫外激光薄膜元件, 急需研制紫外高吸收薄膜, 某研究所采用伯東 KRI 雙離子源輔助離子束濺射沉積技術(shù)鍍制 Ta2O薄膜進行研究.

 

其系統(tǒng)工作示意圖如下:

 

 

該研究所的離子束濺射鍍膜組成系統(tǒng)主要由濺射室、雙離子源、濺射靶、基片臺等部分組成.

 

其中雙離子源中的一個離子源適用于濺射靶材, 另個離子源是用于基材的預(yù)清洗.

 

用于濺射的離子源采用伯東的 KRI 聚焦型射頻離子源 380, 其參數(shù)如下:

 

伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):
portant;">

射頻離子源型號

portant;">

RFICP 380

portant;">

Discharge 陽極

portant;">

射頻 RFICP

portant;">

離子束流

portant;">

>1500 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

30 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦

portant;">

流量

portant;">

15-50 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

39 cm

portant;">

直徑

portant;">

59 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

推薦理由:

聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

 

用于預(yù)清洗的離子源是采用伯東 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000

 

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術(shù)參數(shù):

portant;">

離子源型號

 

portant;">

霍爾離子源

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

portant;">

Cathode/Neutralizer

portant;">

HC

portant;">

電壓

portant;">

50-250V
50-300V
50-250V

portant;">

電流

portant;">

20A
10A
15A

portant;">

散射角度

portant;">

>45

portant;">

可充其他

portant;">

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

portant;">

氣體流量

portant;">

5-100sccm

portant;">

高度

portant;">

6.0“

portant;">

直徑

portant;">

9.7“

portant;">

水冷

portant;">

可選

 

其濺射室需要沉積前本底真空抽到 1×10-5Pa, 經(jīng)推薦采用伯東分子泵組  Hicube 80 Pro, 其技術(shù)參數(shù)如下:

portant;">

進氣法蘭

portant;">

氮氣抽速
 N2,l/s

portant;">

極限真空 hpa

portant;">

前級泵

型號

portant;">

前級泵抽速
 m3/h

portant;">

前級真空
安全閥

portant;">

DN 40 ISO-KF

portant;">

35

portant;">

< 1X10-7

portant;">

Pascal 2021

portant;">

18

portant;">

AVC 025 MA

 

運行結(jié)果:

伯東 KRI 雙離子源輔助離子束濺射技術(shù)可以制備不同吸收率的355nm高反射吸收 Ta2O薄膜.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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