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伯東KRI考夫曼射頻離子源RFICP140輔助鍍制OSR膜層

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  • 發(fā)布日期:2021-06-17 11:16
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   某光學(xué)薄膜制造商為了提高光學(xué)太陽反射鏡OSR的膜層附著力, 采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 在鍍膜前清洗光學(xué)太陽反射鏡OSR.

 

伯東 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

portant;">

型號

portant;">

RFICP 140

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

離子束流

portant;">

>600 mA

portant;">

離子動能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

14 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

portant;">

5-30 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長度

portant;">

24.6 cm

portant;">

直徑

portant;">

24.6 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

推薦使用 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140是因為其束流密度、能量可以精確控制, 工藝剛好符合客戶要求.

 

其工藝流程為:

在原有的真空鍍膜機(jī)上安裝一臺KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140, 產(chǎn)生離子束. 離子束清洗應(yīng)用在鍍膜沉積前, 利用離子束轟擊基片, 濺射基片表面的污染物進(jìn)行凈化, 同時也對基片表面除氣.

 

先將清洗干凈的石英玻璃基片放入真空室,再將系統(tǒng)的真空度抽至低于 5·10-4Pa, 然后充入工作氣體氬氣保持 5min 后, 打開離子源進(jìn)行清洗. 清洗完畢后再次將系統(tǒng)的真空度抽至低于 5·10-4Pa,充入氬氣至 0.3Pa 進(jìn)行濺射鍍銀.

 

為了保證真空室的真空度, 客戶采用的是伯東Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace1800, 其參數(shù)如下:

portant;">

分子泵型號

portant;">

界面 DN

portant;">

抽速 l/s

portant;">

壓縮比

portant;">

最高啟動壓強(qiáng)mbar

portant;">

極限壓力

portant;">

全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s

portant;">

啟動
時間

portant;">

重量

portant;">

進(jìn)氣

portant;">

排氣

portant;">

氮氣
N2

portant;">

氦氣He

portant;">

氫氣 H2

portant;">

氮氣
N2

portant;">

氮氣N2

portant;">

 hPa

portant;">

氮氣N2

portant;">

min

portant;">

kg

portant;">

Hipace 1800

portant;">

200

portant;">

40

portant;">

1,450

portant;">

1,650

portant;">

1,700

portant;">

> 1X108

portant;">

1.8

portant;">

< 1X10–7

portant;">

20

portant;">

4

portant;">

33 – 34

 

運(yùn)行結(jié)果:

KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140可以對基片表面進(jìn)行有效的清潔、活化的, 有利于改善膜層附著力

 

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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