伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數:

客戶采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 產生離子束不斷轟擊源極靶材和工件, 工件在離子束轟擊下迅速被加熱至高溫, 源極靶材在轟擊作用下濺射出的合金元素不斷奔向工件表面, 經沉積擴散過程形成一定厚度的涂層.

運行結果:

1. 具有沉積薄膜速度快, 厚度容易控制等特點

2. 涂層的SEM形貌觀測顯示涂層均勻, 致密, 無明顯孔洞缺陷, 涂層厚度約為10um, 過度層厚度約為3um.

3. 涂層的力學性能及磨損性能分析顯示, 涂層的臨界載荷達到81.75N, 遠遠滿足工程要求, 涂層與基體結合良好.

4. 在高溫（500℃）下, TiN的摩擦系數更穩定.

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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