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伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術參數:
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portant;">
離子源型號 |
portant;">
RFICP220 |
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Discharge |
portant;">
RFICP 射頻 |
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portant;">
離子束流 |
portant;">
>800 mA |
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portant;">
離子動能 |
portant;">
100-1200 V |
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portant;">
柵極直徑 |
portant;">
20 cm Φ |
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portant;">
離子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
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portant;">
流量 |
portant;">
10-40 sccm |
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portant;">
通氣 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
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< 0.5m Torr |
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長度 |
portant;">
30 cm |
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portant;">
直徑 |
portant;">
41 cm |
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portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
在該研究項目中, 以 Ta2O5 和 SiO2 作為鍍膜材料, 設計了含有 12 個諧振腔的帶通濾光膜, 分析并解決了耦合層膜厚監控的問題.
運行結果:
制備的帶通濾光膜在 1528～1571 nm 處插入損耗小于 0.2 dB, 1470～1521 nm 和 1578～1651 nm 處透射隔離度大于 40 dB, 滿足實際使用要求.
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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